технология интегральных схем с самосовмещёнными силицидными базовыми контактами

integrinių grandynų su susitapatinančiais silicidiniais bazės kontaktais technologija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. self-aligned silicide base contact integrated-circuit technology vok. selbstjustierende Silizidbasenkontakttechnik, f rus. технология интегральных схем с самосовмещёнными силицидными базовыми контактами, f pranc. technologie des circuits intégrés à contacts de base auto-alignées en siliciure, f